快速反射镜(FSM）简称“快反镜”，是利用音圈电机驱动反射镜面精确控制光束方向的一种光、机、电一体化精密装置。与高灵敏度、高响应速度的传感器相结合,构成高精度光学扫描跟踪系统,具有极高的角度分辨率、响应速度和带宽。
应用领域：
- 光刻设备
- 晶圆制造
- 激光通信
- 半导体检测
- 光电吊舱
- 光电对抗
- 激光焊接
- 激光加工
- 激光测距
- 机器视觉
- 光束对准
- 光学稳像
- 自适应光学
- 图像运动补偿
- 超分辨率成像
产品特点：
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低功耗 专研的低噪声驱动电路,使系统静态和动态功耗极低，能长期稳定工作。 |
低温漂 独创的角度传感器测量电路,有效抑制了宽温范围下的系统漂移。 |
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高面型精度 独有的高精度反射镜面型控制技术保证了极高的反射镜粘接后面型。 |
高带宽 独创的控制算法，有效拓展了音圈驱动系统的闭环带宽。 |
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高精度 自主研发的高精度角度测量与控制技术。 |
高环境适应性 系统、结构、电路综合优化保证了极好的环境适应性。 |
产品型号参数表：
| 运动自由度 | 2 |
| 小步长阶越响应时间(1mrad) | ≤ 1ms |
| 角范围(机械角) | ±1.5° |
| 角分辨率 | ≤1 μrad |
| 重复定位精度 | ≤2 μrad |
| 线性度 | ≥99.80% |
| 闭环带宽(-3dB@1mrad) | ≥800Hz |
| 工作温度范围 | 0℃~40℃ |
| 反射镜面型 | 根据客户需求定制 |
| 静态功耗 | 3.5W |
| 控制方式 | 模拟/数字控制 |
| 电源需求 | ±15VDC @3A RMS(MAX) |
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